三氯氧磷腐蚀扩散炉-三氯氧磷淬灭方法

本篇文章给大家分享三氯氧磷腐蚀扩散炉，以及三氯氧磷淬灭方法对应的知识点，希望对各位有所帮助。

文章信息一览：

• 1、三氯氧磷和强碱反应
• 2、三氯氧磷腐蚀铁快吗?
• 3、从硅料到太阳能电池片的生产流程,有谁知道
• 4、塑封器件的塑封料用什么腐蚀
• 5、太阳能电池工艺中的扩散工艺为什么在扩散炉里用三氯氧磷
• 6、单晶p型硅片扩散的目的

三氯氧磷和强碱反应

H3PO3 +3NaOH = Na3PO3 + 3H2O。亚磷酸H3PO3，虽然化学式中有3个氢，但是实际上只是二元酸，它有一个氢原子是直接连在P原子上的，不能电离，因此是二元酸。所以说过量的NaOH和它反应只能生成Na2HPO3。亚磷酸是一种无机化合物，化学式为H3PO3，分子量为800。易溶于水和醇。

三氯氧磷加碳酸氢钠的作用加碳酸氢钠是为了起中和反应，增加产物稳定性。

三氯氧磷和水反应的化学方程式为：POCl3+3H2O=H3PO4+3HCl。三氯氧磷是无色液体，有***气味，在潮湿空气中强烈发烟，它不仅可以和水反应，还可以和醇反应。三氯氧磷又称磷酰氯、***，分子式为POCl3，是一种无色透明发烟液体。易挥发，有强烈的***气味。

三氯氧磷在水中与水反应成磷酸和五氯化磷。可以用大量的液碱中和PH值排入废水系统。水与三氯氧磷反应时会产生大量的热和盐酸，注意防护。

三氯氧磷腐蚀铁快吗?

1、快。三氯氧磷有强腐蚀性，在潮湿环境中，可以腐蚀绝大多数金属以及钢，三氯氧磷是一种重要的化工原料，在腐蚀铁需要5分钟，速度极快。

2、有。碳钢对三氯氧磷有反应，具有有腐蚀性。三氯氧磷为无色具有强烈腐蚀性的液体，沸点10摄氏度，在潮湿空气中发烟，有强烈***性，遇水发生剧烈分解。

3、三氯氧磷必须用钢衬塑料是因为三氯氧磷具有强氧化性。三氯氧磷是一种工业化工原料，为无色透明的发烟液体，是带***性臭味和蒜味的液体，在潮湿空气中会剧烈发烟，与水反应水解成磷酸和氯化氢。钢衬塑料是外表层碳钢层，内层聚乙烯塑料层，二层通过中间相嵌龟甲钢网紧密连接的钢塑复合产品。

4、危险特性：遇水猛烈分解，产生大量的热和浓烟，甚至爆炸。具有较强的腐蚀性。燃烧（分解）产物：氯化氢、氧化磷、磷烷。急救措施 皮肤接触：尽快用软纸或棉花等擦去毒物，继之用3%碳酸氢钠液浸泡。然后用水彻底冲洗。就医。眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗至少15分钟。就医。

5、五氯化磷可以和水剧烈反应放出大量热，生成氯化氢和三氯氧磷，当水过量时，生成氯化氢和磷酸。五氯化磷和乙醇也剧烈反应放出大量热。五氯化磷可以和煤油反应，因此不能保存在煤油中。 五氯化磷加热升华。三氯化磷 三氯化磷，分子式：PCl3。

6、在强酸性溶液中，钢铁会发生析氢腐蚀，铁将氢置换出来。在中性或碱性溶液中，钢铁会发生吸氧腐蚀，氧气将铁氧化。但是必须都是潮湿环境中。金属材料受周围介质的作用而损坏，称为金属腐蚀。金属的锈蚀是最常见的腐蚀形态。

从硅料到太阳能电池片的生产流程,有谁知道

硅片加工工艺流程一般经过晶体生长、切断、外径滚磨、平边、切片、倒角、研磨、腐蚀、抛光、清洗、包装等阶段。近年来光伏发电和半导体行 业的迅速发展对硅 片的加工提出了更高的要求（图2）：一方面为了降*** 造成本，硅片趋向大直径化。另一方面要求硅片有极高的平面度精度和极小 的表面粗糙度。

对多晶硅片而言方块电阻控制在25—35Ω/□ XJ=（0.4—0.45）μ 注意事项﹕因磷扩散系统干燥要求较高，要定期在1个月内处理分子筛，否则容易使扩散产生磷和硅的合金点，影响双结特性。定期一个月处理一次石英管、石英舟、石英钩（根据生产量而定）。

将反射损失减小到5%甚至更小。一个电池所能提供的电流和电压毕竟有限，于是人们又将很多电池（通常是36个）并联或串联起来使用，形成太阳能光电板。 硅太阳能电池的生产流程 通常的晶体硅太阳能电池是在厚度350～450μm的高质量硅片上制成的，这种硅片从提拉或浇铸的硅锭上锯割而成。

塑封器件的塑封料用什么腐蚀

所谓的黑胶也就是环氧塑封料，主要用在IC封装行业。IC封装过程中经常需要对IC进行解剖，用以观察封装后晶粒表面不良。主要用浓硫酸和硝酸腐蚀。准备烧杯一个（能防热）在里面倒入一比二的浓硫酸和硝酸，放在烤炉上加热。然后将IC放入进行腐蚀，一定时间后取出。就能看到里面的晶粒。

是用发烟浓硝酸腐蚀掉塑封料然后用丙酮冲洗，此法相对较慢。根据实际电路板的情况选择方法，通常结合使用。

加热的发烟硝酸或脱水硫酸对塑料有较强的腐蚀作用，但对硅片，铝金属化层和内引线的腐蚀作用缓慢，操作时合理设定液体流量、流速以及所用酸的选择，综合考虑封装类型，芯片的大小、厚薄等因素，在成功暴露芯片时能保证器件电性性能的完整性。

太阳能电池工艺中的扩散工艺为什么在扩散炉里用三氯氧磷

1、氮气在此系统中不参入反应；只是惰性介质。用氩气更好，但是成本太高。

2、扩散的目的：太阳能电池的基本就够就是一个PN结，而扩散就是为了形成PN结。扩散的原理：太阳能电池一般选用的是P型掺杂的单晶硅片或者是多晶硅片，我们就需要通过扩散在上面形成一个N型的扩散层，从而形成PN结。现在一般***用的都是磷扩散。

3、扩散工艺的目的是形成晶体硅太阳电池的心脏PN结，目前主要扩散方法是应用三氯氧磷液态源扩散。工艺过程中需要在P型硅片中掺杂磷元素，液态源一般是POCl3，POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高，方块电阻结均匀等优点。

4、太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。

单晶p型硅片扩散的目的

形成PN结。扩散目的：对P型硅片表面进行N型掺杂， 形成PN结， ***用三氯氧磷气体携带源的方式引入扩散炉， 最终将反应生成的磷在高温条件下扩散进入硅片表层，形成N型杂质层。

扩散的目的：太阳能电池的基本就够就是一个PN结，而扩散就是为了形成PN结。扩散的原理：太阳能电池一般选用的是P型掺杂的单晶硅片或者是多晶硅片，我们就需要通过扩散在上面形成一个N型的扩散层，从而形成PN结。现在一般***用的都是磷扩散。

扩散工序：将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气和POCL3 等气体，在高温下分解后在硅片表面形成P-N 结。扩散制结（p-n结）的目的：在P型硅表面，通过扩散P原子构成p-n结。PN结的形成才使电子和空穴在流动后不再回到原处，这样就形成了电流，用导线将电流引出，就是直流电。

扩散工艺的目的是形成晶体硅太阳电池的心脏PN结，目前主要扩散方法是应用三氯氧磷液态源扩散。工艺过程中需要在P型硅片中掺杂磷元素，液态源一般是POCl3，POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高，方块电阻结均匀等优点。

当P型硅和N型硅片放在一起时，它们会形成PN结。在PN结中，P型硅中的空穴和N型硅中的自由电子会发生扩散，形成一个耗尽区域，这使得PN结两侧的电荷分布不均匀。这一特性使得PN结可以用来构建二极管、晶体管等各种半导体器件。

对于单晶硅来说一般***用NaOH加醇的方法腐蚀，利用单晶硅的各向异性腐蚀，在表面形成无数的金字塔结构，碱液的温度约80度，浓度约1~2%，腐蚀时间约15分钟。对于多晶来说，一般***用酸法腐蚀。扩散制结：扩散的目的在于形成PN结。普遍***用磷做n型掺杂。

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